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多極的なヘッドのナノプローバの 開発と製造会社

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  • アトミック.フォース.ナノプローバ

    アトミック.フォース.ナノプローバのワークステーションは便利な使用と簡単な操作するために開発された。

    ヘッドについて
    スキャンレンジは24x24um. ノッド解像度は5nm. 1個から6個まで多極化のヘッドオプション。

    半導体レーザー型フィードバックを利用して、1個のプローブ一度目何日にイメージングやプロビング可能。

    自社で作ったのタングステンニードルを使って、MP2ヘッドは何時間中イメージングができて、ドリフトは100nm以下。どうな難しい故障解析も一度にできて可能。

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    プローブについて

    プローブは超細い(300nm~45nm)タングステンニードルで、ライフタイム長いし、半導体ジャンクションが無いし、普通のシリコン針より100倍硬いです。 出荷前に針のレーザー反射率を三回にと抵抗力を二回にテスト。抵抗力は100Ω以下保証して。

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    顕微鏡

    サンプルとプローブはセットアップを使用しての高倍率顕微鏡。

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    スナップ.ステージ

    ナノ精度ナビゲーションステージ。精度は50nmまで、CADナビゲーションソフトウェアと互換性がある.

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    ガード電極サンプルチャック

    スナップ.ステージのサンプルチャック。チャックで置いてのサンプルは自由に接地とバイアス可能。

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    新製品-サーマルチャック
    サーマルチャック

    サーマルチャックは、半導体デバイスの高温測定値のために、設計と作成する。一般的に自動車安全性産業で使える。

    製品特質
    オリジナルのサンプルステージは、オプションのガード.サーマルチャックと互換性がある。チャックは、最大20x20mmサンプルを支える。最高プロビング可能の温度は120°C、安定性は+/- 0.05°C。 

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    デジタル.コントローラー

    システムの重要なコンポーネントを制御し、新しいプロダクトを加えるとシステムをバージョンアップすること簡単。例えば、ヘッドを追加されてと2つのサーキットボードを加えること同じくらい簡単にする。

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    コンピュータ、モニター
    インテル®シングル Core™2 Quad プロセッサーを設備するコンピュータと二つ21インチフラットモニターはマルチスキャン(システム操作するソフトウェア)を実行するとデータを獲得する。   ...... トップへ ......
    AEKエンクロージャー

    AEK アコウスティックフードは環境ノイズと震動を隔離して、MP2ヘッドとシステムのパフォーマンスを最適化する。

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