今日、半導体デバイスの高集積化、微細化が進んでいる。それに従い、半導体の動作解析、故障解析の手段として、従来の光学顕微鏡の分解能では、観察が困難になってきている。
マルチプローブのアトミック．フォース．プローバは65nm~32nmの半導体デバイス故障検出と解析、シングルトランジスタの電気的特性の測定解析専用に開発されたマルチヘッドの半導体故障解析システムです。高集積化、微細化の半導体デバイスの解析方法が有効な手段と解析結果が精密な測定として注目されている。
高水準のテクニカルスタッフと信頼性のある解析装置が提供すると半導体会社のお客様の成功を目指している。 |
